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J-GLOBAL ID：200903032540189280
光導波路
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998013767
Publication number (International publication number)：1999211925
Application date： Jan. 27, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：
【要約】【課題】 アンダークラッドを1〜2μmのSiO2 薄膜により構成することにより、アンダークラッドの膜厚制御性は飛躍的に向上して±0.1μm程度の公差を確保することができ、レーザチップとの間のパッシブアライメントを実施することができる光導波路を提供する。【解決手段】 屈折率の高いコア3と、コア3と比較して屈折率が僅かに低く光を閉じ込めるに充分な厚さのオーバークラッド4と、基板1に形成されオーバークラッド4と比較して更に屈折率が低く厚さも薄いアンダークラッド2とにより構成される光導波路。
Claim (excerpt)：
屈折率の高いコアと、コアと比較して屈折率が僅かに低く光を閉じ込めるに充分な厚さのオーバークラッドと、基板表面に形成されオーバークラッドと比較して更に屈折率が低く厚さも薄いアンダークラッドとにより構成されることを特徴とする光導波路。
IPC (4)：
G02B 6/122
, G02B 6/12
, G02B 6/42
, H01S 3/18
G02B 6/12 A
, G02B 6/42
, H01S 3/18
, G02B 6/12 N
