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J-GLOBAL ID：200903032596074183

積層型素子の製造方法

Inventor： 西村 哲彦 ,  鶴見 敬章 ,  大場 陽子 ,  大門 正機
Applicant, Patent owner： 三菱化成株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993102779
Publication number (International publication number)：1994314828
Application date： Apr. 28, 1993
Publication date： Nov. 08, 1994
Summary：

【要約】【構成】 圧電性を発現させる所望の複合酸化物の構成元素の少なくとも一つの金属元素を含む導電性薄板を基板とし、該複合酸化物構成金属元素から基板中に含まれる元素を実質的に除いた残余の複合酸化物構成金属元素を含むアルカリ性水溶液中で基板を水熱処理した後、該複合酸化物の全構成元素を含むアルカリ性水溶液中で第2の水熱処理を行い、基板の両面に圧電性を有する結晶性複合酸化物薄板を形成させる工程、該結晶性薄板上に電極を形成する工程、さらに該薄板と導電性を有する薄板を交互に積層し積層体を構成し、次いで該積層体の水熱処理に供した導電性基板同志を結線、及び新たに積層した導電性薄板同志を結線させることを特徴とする積層型圧電素子の製造方法。【効果】 従来法に比べて、極めて容易に積層型圧電素子を製造することができる。

Claim (excerpt)：

(1)圧電性を発現させる所望の複合酸化物の構成元素の少なくとも一つの金属元素を含む導電性薄板を基板とし、該複合酸化物構成金属元素から基板中に含まれる元素を実質的に除いた残余の複合酸化物構成金属元素を含むアルカリ性水溶液中で基板を水熱処理した後、該複合酸化物の全構成元素を含むアルカリ性水溶液中で第2の水熱処理を行い、基板の両面に圧電性を有する結晶性複合酸化物薄板を形成させる工程、(2)工程(1)によって得られた基板両面上に形成された結晶性薄板上に電極を形成する工程、(3)工程(2)によって得られた両面に圧電性薄板を有する素子と導電性を有する薄板を交互に積層し積層体を構成し、次いで該積層体の水熱処理に供した導電性基板同志を結線、及び新たに積層した導電性薄板同志を結線させる(すなわち両導電性薄板を電気的に並列接続させる)ことを特徴とする積層型圧電素子の製造方法。

IPC (3)：

H01L 41/24 ,  C01G 25/00 ,  C30B 7/10