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J-GLOBAL ID：200903032605669411

走査電子顕微鏡

Inventor： 川俣 茂 ,  富澤 淳一郎 ,  沼田 吉典
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996063010
Publication number (International publication number)：1997259807
Application date： Mar. 19, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：

【要約】【課題】観察視野の選択時に、画像上を任意の位置,大きさの枠で囲むことで、電子顕微鏡の試料観察操作を容易にすることを目的とする。【解決手段】観察画像に四角枠を重ねて表示し、倍率可変のための偏向用電磁コイルと試料の位置可変のための試料移動機構を制御するよう構成した走査電子顕微鏡等の装置。【効果】走査電子顕微鏡等における煩わしい操作の一つである観察視野の選択が容易となり、操作性が向上する。

Claim (excerpt)：

集束された電子ビームを倍率に応じて試料上を走査するための偏向器と、試料を移動させるための移動機構とその制御装置を備えた走査電子顕微鏡において、まず観察画像上に任意の位置,大きさの四角枠を重ねて表示し、次に前記四角枠に対応した位置と倍率の画像を切り換えて表示するよう、試料移動および電子ビームの偏向を制御する手段を設け、視野選択を容易にすることを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22

FI (2)：

H01J 37/22 502 C ,  H01J 37/22 502 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 走査形電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-276442   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開昭61-096644