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J-GLOBAL ID：200903032612498843
ガス検知素子及びガス測定装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
光石 俊郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996267036
Publication number (International publication number)：1998096699
Application date： Oct. 08, 1996
Publication date： Apr. 14, 1998
Summary：
【要約】【課題】 湿度の影響を受けにくく、湿度補正の機構が不要となり簡便にアンモニアを測定できるアンモニアの検知素子及びアンモニアの測定装置を提供する。【解決手段】 pH指示薬を含有する薄膜と該薄膜1を装荷するための基体2とから構成され、雰囲気のアンモニアガス濃度に感応して該薄膜の光の透過率または反射率が変化することを利用してアンモニアガスの存在を検知するアンモニアガスの検知素子であって、上記薄膜1がシリコン系酸化物からなる。
Claim (excerpt)：
pH指示薬を含有する薄膜と該薄膜を装荷するための基体とから構成され、雰囲気のガス濃度に感応して該薄膜の光の透過率または反射率が変化することを利用してガスの存在を検知するガス検知素子であって、上記薄膜がシリコン系酸化物からなることを特徴とするガス検知素子。
IPC (3)：
G01N 21/78
, G01N 31/22 121
, G01N 31/22 123
G01N 21/78 Z
, G01N 31/22 121 A
, G01N 31/22 123
