可変キャパシタ、それを備えたパッケージ及び可変キャパシタの製造方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：片山修平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002338655
Publication number (International publication number)：2004172504
Application date： Nov. 21, 2002
Publication date： Jun. 17, 2004
Summary：

【課題】容量の微調整が可能で且つ耐衝撃性に優れた小型な可変キャパシタ、それを備えたパッケージ及び可変キャパシタの製造方法を提供する。【解決手段】可動キャパシタ10Aを構成する可動キャパシタ電極11がバネ部として機能する静電アクチュエータ10Bにおける可動アクチュエータ電極15により基板23に対して保持された構成において、静電アクチュエータ10Bは平行平板に形成された電極部15Aを有し、また、この電極部15Aに対向する固定アクチュエータ電極17が基板23上の絶縁層25上に形成されている。この構成において、可動アクチュエータ電極15側を接地し、固定アクチュエータ電極17側に駆動電圧を印加することで、両者の電極(15,17)間に働く静電引力により、可動キャパシタ電極11と固定キャパシタ電極13との距離を変化させる。これにより、可動キャパシタ10Aの静電容量C1が制御される。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

対向した第1及び第2の電極のうち少なくとも一方の電極が両端に設けられたバネ部と一体形成されることで保持された可変キャパシタであって、前記バネ部に対向した第3の電極を有し、前記バネ部は前記第3の電極と対向する位置に平行平板な第4の電極を含んでなり、前記第3の電極と前記第4の電極との間に働く静電引力により、前記第1及び第2の電極で形成されたキャパシタの静電容量を変化させることを特徴とする可変キャパシタ。

IPC (3)：

H01G5/16 , B81B3/00 , B81C1/00

FI (3)：

H01G5/16 , B81B3/00 , B81C1/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

マイクロマシンの作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-168790 Applicant：株式会社デンソー
可変容量コンデンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-169187 Applicant：株式会社村田製作所
フェーズドアレイアンテナおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-368151 Applicant：日本電気株式会社

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