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J-GLOBAL ID：200903032633193724

光重合可能な乾燥フィルム組成物

Inventor： リチャード・トーマス・メイズ
Applicant, Patent owner： ハーキュリーズ・インコーポレーテッド
Agent (1)： 湯浅 恭三 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992294576
Publication number (International publication number)：1994087939
Application date： Nov. 02, 1992
Publication date： Mar. 29, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】【構成】水性現像可能で光重合可能な乾燥フィルム組成物であって、該光重合可能な組成物がさらに、少なくとも一つのエチレン性不飽和末端基を有するカルボキシル基含有ポリウレタンを光重合可能な乾燥フィルム組成物の重量の0.5ー30%含む組成物。【効果】フォトレジストとして有用な水性現象可能な乾燥フィルム光重合性組成物である。

Claim (excerpt)：

水性現像可能で光重合可能な乾燥フィルム組成物であって、該光重合可能な組成物がさらに、少なくとも一つのエチレン性不飽和末端基を有するカルボキシル基含有ポリウレタンを光重合可能な乾燥フィルム組成物の重量の0.5ー30%含む組成物。

IPC (5)：

C08F299/06 MRX ,  C08F 2/44 MCS ,  G03F 7/027 513 ,  G03F 7/038 ,  H01L 21/027