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J-GLOBAL ID：200903032654442260

ロータリジョイント

Inventor： 大宮 潤治 ,  和田 正人
Applicant, Patent owner： 日本ピラー工業株式会社
Agent (1)： 杉本 丈夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998092100
Publication number (International publication number)：1999287372
Application date： Apr. 03, 1998
Publication date： Oct. 19, 1999
Summary：

【要約】【課題】 金属成分との接触を回避する必要のある半導体ウエハ等の処理に使用される液体を相対回転部材間で良好に流動させうるロータリジョイントを提供する。【解決手段】 第1ジョイント構成部材1にベアリング13を介して第2ジョイント構成部材2を回転自在に連結し、第2ジョイント構成部材2に、その回転軸線と同心状をなして第1密封環30を固定し、第1ジョイント構成部材1に、第2密封環31を第1密封環30と同心対向状をなして軸線方向に移動可能に且つ第1密封環30へと押圧附勢させた状態に保持し、各ジョイント構成部材1,2に、両密封環30,31の内周側領域3bに開口する流体通路部分60,61を形成して、当該内周側領域3b及びこれを介して連通する両流体通路部分60,61をもって、液体102を流動させ得る一連の流体通路6となし、この流体通路6の接液部を、液体102との接触により金属成分を発生することのないPEEK等で構成してある。

Claim (excerpt)：

第1ジョイント構成部材に第2ジョイント構成部材を回転自在に連結し、一方のジョイント構成部材に、第2ジョイント構成部材の回転軸線と同心状をなして第1密封環を固定し、他方のジョイント構成部材に、第2密封環を第1密封環と同心対向状をなして軸線方向に移動可能に且つ第1密封環へと押圧附勢させた状態に保持し、各ジョイント構成部材に、両密封環の内周側領域に開口する流体通路部分を形成して、当該内周側領域及びこれを介して連通する両流体通路部分をもって、液体を流動させ得る一連の流体通路となし、この流体通路の接液部を、液体との接触により金属成分を発生することのない材料で構成してあることを特徴とするロータリジョイント。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• スイベル継手およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-163211   Applicant：株式会社潤工社