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J-GLOBAL ID：200903032686638973

合焦操作支援方法

Inventor： 宮崎 敢人
Applicant, Patent owner： ユニオン光学株式会社
Agent (1)： 神保 欣正
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997031472
Publication number (International publication number)：1998221612
Application date： Jan. 31, 1997
Publication date： Aug. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】 光学機器において合焦操作を行うにあたり、試料に投影した合焦操作支援用のマークを鮮明化する。【解決手段】 試料Sを水平方向に微振動させることにより、試料に投影した合焦操作支援用のマークを鮮明化する。

Claim (excerpt)：

光学機器において合焦操作を行うにあたり、試料を水平方向に微振動させることにより、試料に投影した合焦操作支援用のマークを鮮明化することを特徴とする合焦操作支援方法。

IPC (6)：

G02B 21/26 ,  G01B 11/02 ,  G02B 7/04 ,  G02B 7/28 ,  G03B 13/36 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G02B 21/26 ,  G01B 11/02 Z ,  G02B 7/04 C ,  G02B 7/11 H ,  G03B 3/00 A ,  H01L 21/30 526 Z