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J-GLOBAL ID：200903032693678280
電子ビーム測長方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994253180
Publication number (International publication number)：1996114436
Application date： Oct. 19, 1994
Publication date： May. 07, 1996
Summary：
【要約】【目的】 高い精度でエッジの検出を行うことができる電子ビーム測長方法を実現する。【構成】 メモリー補間ユニット14はメモリーアドレス制御ユニット13から出力された連続アドレスデータに対して補間値を算出する。メモリー補間ユニット14における補間処理により、X軸に対してθの角度を有するメモリーアドレスの数値関数について各座標値における信号量が求められる。すなわち、ユニット14からは疑似波形データが得られる。メモリー補間ユニット14によって求められた疑似波形データは、DA変換器15に送られてアナログ信号に変換された後、信号微分ユニット16に供給されて微分処理される。微分信号はコンピュータ5に供給され、コンピュータ5において微分信号からホールHのエッジ検出が行われる。
Claim (excerpt)：
電子ビームを試料上で2次元的に走査し、この走査によって試料から得られた信号を検出するステップ、基準の走査方向から角度θ傾いた任意の疑似走査方向の各座標の信号量を記憶された検出信号値から補間演算により求め、疑似波形データを得るステップ、疑似波形データを微分処理するステップよりなる電子ビーム測長方法。
IPC (3)：
G01B 15/00
, H01J 37/22 502
, H01L 21/66
