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J-GLOBAL ID:200903032749470970

空間に空気を供給するための装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 佐藤 一雄 (外3名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1997535184
Publication number (International publication number):2000507686
Application date: Mar. 20, 1997
Publication date: Jun. 20, 2000
Summary:
【要約】空間、好ましくは異なる雰囲気が要求される領域(A,B,C)に分けられたクリーンルームに空気を供給するための装置が、複数の領域に分配されそこから空気が種々の領域(A,B,C)へ供給される圧力室(5)に空気を供給するための第1空気処理ユニット(11)を備えている。装置は、圧力室(5)と第2空気処理ユニット(17)と連通する少なくとも1つの混合空間(14)を有する。混合空間は、第1空気処理ユニット(17)と第2空気処理ユニット(17)からの空気を混合するようになっている。混合空間は、領域のうちの少なくとも1つ(B)に混合空気を供給するために該領域(B)と連通している。
Claim (excerpt):
空間、好ましくは異なる雰囲気が要求される領域(A,B,C)に分けられたクリーンルームに空気を供給するため、複数の領域に分配されそこから空気が種々の領域(A,B,C)及び混合空間へ供給される圧力室(5)に空気を供給する第1空気処理ユニット(11)を備えた装置において、 圧力室(5)と第2空気処理ユニット(17)が圧力室(5)と第2空気処理ユニット(17)からの空気を混合するための少なくとも1つの混合空間(14)と連通するとともに、混合空間(14)が領域のうちの少なくとも1つ(B)に混合空気を供給するために該領域(B)と連通していることを特徴とする装置。

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