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J-GLOBAL ID：200903032791924841

超純粋窒素の製造方法及び装置

Inventor： ルイス・ジヤン ,  モラル・ベルトラン ,  トネリエ・ジヤン-イベ ,  ガリイ・ダニエル
Applicant, Patent owner： ル・エール・リクイツド・ソシエテ・アノニム・プール・ル・エチユド・エ・ル・エクスプルワテシヨン・デ・プロセデ・ジエオルジエ・クロード
Agent (1)： 八木田 茂 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991088165
Publication number (International publication number)：1993116914
Application date： Apr. 19, 1991
Publication date： May. 14, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】 少なくとも一酸化炭素(CO)及び/又は水素(H2)不純物を含む空気を、銅(Cu)及び/又はルテニウム(Ru)及び/又はロジウム(Rh)及び/又はパラジウム(Pd)及び/又はオスミウム(Os)及び/又はイリジウム(Ir)及び/又は白金(Pt)から選ばれる少なくとも1種の金属元素の粒子を高い表面積を有する粒状材料からなる支持体上に支持してなり、上記金属元素を支持体上に保持させる方法がイオン交換及び/又は含浸によって為された床上に通して、除去すべき上記の2種の成分の少なくとも1種を実質的に除去することを特徴とする、100ppb(10億分の1)以下の不純物を含む超純粋窒素の製造方法。【効果】 窒素或は蒸留すべき空気をCO2及びH2Oを除去するための工程を加えて超純粋窒素を製造することが出来、例えば電子工業に使用される超純粋窒素の製造に応用される。

Claim (excerpt)：

少なくとも一酸化炭素(CO)及び/又は水素(H2)不純物を含む空気を、銅(Cu)及び/又はルテニウム(Ru)及び/又はロジウム(Rh)及び/又はパラジウム(Pd)及び/又はオスミウム(Os)及び/又はイリジウム(Ir)及び/又は白金(Pt)から選ばれる少なくとも1種の金属元素の粒子を高い表面積を有する粒状材料からなる支持体上に支持してなり、上記金属元素を支持体上に保持させる方法がイオン交換及び/又は含浸によって為された床上に通して、除去すべき上記の2種の成分の少なくとも1種を上記の空気から実質的に除去することを特徴とする、蒸留によって空気の分離を行う超純粋窒素の製造方法。

IPC (6)：

C01B 21/04 ,  B01D 53/02 ,  B01D 53/04 ,  B01J 20/02 ,  B01J 20/18 ,  F25J 3/08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-225568
  
• 特開昭63-162509