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J-GLOBAL ID：200903032793853470

EUV液滴発生器用標的かじ取りシステム

Inventor： マイケル・ビー・ペタッチ ,  スティーヴン・ダブリュー・フォーナカ ,  ロッコ・エイ・オーシニ
Applicant, Patent owner： ノースロップ・グラマン・スペイス・アンド・ミッション・システムズ・コーポレーション
Agent (6)： 社本 一夫 ,  増井 忠弐 ,  小林 泰 ,  千葉 昭男 ,  富田 博行 ,  佐久間 滋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003150266
Publication number (International publication number)：2004111907
Application date： May. 28, 2003
Publication date： Apr. 08, 2004
Summary：

【課題】各レーザパルスから100マイクロ秒以内に液滴を生成する液滴発生器を提供する。【解決手段】かじ取り装置74は、液滴発生器52により発生した液滴68の流れ66をかじ取りして、液滴68がレーザビーム78により気化される標的場所76に向けられるようにする。液滴68の流れ66の方向は検出装置84により検出される。検出装置84は、かじ取り装置74の向きを制御するアクチュエータ88に信号を送り、液滴68が標的場所76に向けられるようにする。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

極紫外(EUV;extreme ultraviolet)線源であって、 初期経路に沿って液滴の流れを発生する液滴発生器と、 該液滴を該初期経路から標的経路に偏向させるかじ取り装置と、 該液滴の流れの位置を検出するセンサと、 該センサからの信号に応答し、該かじ取り板の向きを変えて、該液滴が該標的経路上の標的場所へと偏向されるようにするアクチュエータとを備える、線源。

IPC (4)：

H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02

FI (5)：

H01L21/30 531S ,  G03F7/20 503 ,  G21K5/00 Z ,  G21K5/02 X ,  H05G1/00 K

F-Term (8)：

2H097BB03 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  4C092AA06 ,  4C092AA15 ,  4C092AB30 ,  4C092AC09 ,  5F046GC05