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J-GLOBAL ID：200903032800015159

形状検査方法と形状検査装置

Inventor： 後野 由文 ,  米沢 義道
Applicant, Patent owner： 新光電気工業株式会社 ,  米沢 義道
Agent (1)： 綿貫 隆夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992285369
Publication number (International publication number)：1994109413
Application date： Sep. 30, 1992
Publication date： Apr. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 導電性の被検査導体の平面形状および高さ方向の形状の良否を短時間で判定できる形状検査方法と形状検査装置を提供することにある。【構成】 被検査導体12と、被検査導体12の理想的形状を有する基準導体14を所定距離離間し、且つ対向配置する配置手段16と、被検査導体12と基準導体14間に交流電圧を印加する電圧印加手段18と、被検査導体12と基準導体14間の静電容量値を測定する静電容量測定手段20〜28と、理想的な形状の被検査導体12と基準導体14を所定距離離間し、且つ対向配置して交流電圧を両者間に印加した際の両者間の静電容量値又はその許容範囲を基準静電容量値又は基準静電容量範囲として記憶する記憶手段30と、静電容量測定手段20〜28で測定された静電容量値を、基準静電容量値又は基準静電容量範囲と比較する比較手段26と、比較手段26の比較結果を基に被検査導体12の形状の良否を判定する判定手段26とを具備することを特徴とする形状検査装置10。

Claim (excerpt)：

導電体で形成された被検査導体と、導電体で形成されると共に、理想的な被検査導体の形状である基準形状に形成された基準導体を所定距離離間すると共に、対向して配置し、前記被検査導体と前記基準導体との間に所定の交流電圧を印加し、前記被検査導体と基準導体との間の静電容量値を測定し、前記静電容量値を、予め設定されている、理想的な形状を有する被検査導体と、前記基準導体を前記所定距離離間すると共に、対向して配置し、前記所定の交流電圧を理想的な形状を有する被検査導体と基準導体との間に印加した際の両者間の静電容量値または静電容量値の許容範囲である基準静電容量値、または基準静電容量範囲と比較し、この比較結果を基に前記被検査導体の形状の良否を判定することを特徴とする形状検査方法。

IPC (3)：

G01B 7/28 ,  G01B 7/00 ,  H01L 21/66