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J-GLOBAL ID：200903032800987878

感光性樹脂組成物積層体

Inventor： 川口 卓 ,  正岡 和隆 ,  木村 仁子
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993020036
Publication number (International publication number)：1994230579
Application date： Feb. 08, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 感度、解像度、密着性等が優れた感光性樹脂組成物積層体を提供する。【構成】 支持フィルム(a)、感光性樹脂層(b)及び保護フィルム(c)から成る感光性樹脂組成物において、支持フィルム(a)のヘーズが0.1〜1.5%であり、厚みが10〜30μmである感光性樹脂組成物積層体。

Claim (excerpt)：

支持フィルム(a)、感光性樹脂層(b)及び保護フィルム(c)から成る感光性樹脂組成物において、支持フィルム(a)のヘーズが0.1〜1.5%であり、厚みが10〜30μmである感光性樹脂組成物積層体。

IPC (6)：

G03F 7/09 501 ,  B32B 27/00 ,  G03F 7/004 512 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00 ,  C23F 1/00 102

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 特開昭60-262156
  
• 特開昭60-262156
  
• 特開平3-083625
  
• 特開平3-083625
  
• 特開昭60-262156
  
• 特開平3-083625