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J-GLOBAL ID:200903032805490491

電子顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小川 勝男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993069577
Publication number (International publication number):1994283128
Application date: Mar. 29, 1993
Publication date: Oct. 07, 1994
Summary:
【要約】【目的】磁気的擾乱のない状態での観察と高分解能観察とを、一台の電子顕微鏡で行う。【構成】収束レンズ10と対物レンズ5の中間位置4と、対物レンズ5の内部6の二個所に試料室を設ける。【効果】磁性体試料本来の磁気的性質の観察と一般試料の高分解能観察とが、一台の電子顕微鏡で行える。
Claim (excerpt):
高電圧電源,電子銃,照射レンズ系,対物レンズおよび中間,投影レンズ群から成る結像レンズ系,像観察および記録部,真空排気系から構成され、電子ビームを試料に照射して上記試料を透過した透過電子ビームを検出する機能を備えた電子顕微鏡において、上記試料を設置するための試料室を上記電子ビームの経路の複数の位置に備えたことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2):
H01J 37/26 ,  H01J 37/20

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