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J-GLOBAL ID：200903032844850560

容量型差圧測定圧力センサとその製造方法

Inventor： 加藤 聖 ,  植末 彰一 ,  江刺 正喜
Applicant, Patent owner： 矢崎総業株式会社
Agent (1)： 瀧野 秀雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994100878
Publication number (International publication number)：1995306107
Application date： May. 16, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】温度センサと温度補正回路を必要とせず、温度変化の影響を受けずに圧力の絶対値を測定できるようにする。【構成】単結晶シリコン基板の一方の面をエッチングして薄肉部5と厚肉部6とから成る感圧部を形成し、他方の面に凹部7を形成してダイアフラム1を作る。この上に上部ガラス板2を取付ける。上部ガラス板2は感圧部に対向する電極8と、電極8と感圧部との間に形成される空間に通じる通気孔9とを有する。この上に圧力緩衝部材4を取付ける。圧力緩衝部材4は可撓性膜10とこの可撓性膜10の周囲を支持する枠状支持体11とから成り、ダイアフラム1との間に密閉空間12を形成する。通気孔13を有する台座ガラス板3をダイアフラム1の下に取付ける。周囲温度の変化に応じて圧力緩衝部材4の可撓性膜10が撓んで密閉空間12内の圧力P0 を一定に保つ。

Claim (excerpt)：

(A)シリコン基板に設けられた薄肉部により構成され、圧力を受けて変位する感圧部を有するダイアフラムと、(B)前記感圧部に間隔をおいて対向する電極と、前記感圧部と前記電極との間に形成される空間に通じる通気孔とを有し、前記ダイアフラムの上面に取付けられる上部ガラス板と、(C)可撓性膜とこの可撓性膜の周囲を支持する枠状支持体とから成り、この枠状支持体が前記上部ガラス板の上面に取付けられ前記ダイアフラムとの間に密閉された空間を形成する圧力緩衝部材と、を備えたことを特徴とする容量型差圧測定圧力センサ。

IPC (4)：

G01L 13/06 ,  G01L 9/12 ,  G01L 19/04 ,  H01L 29/84