Pat
J-GLOBAL ID：200903032851538245
超純水の比抵抗調整装置及び方法
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 勝利
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997232412
Publication number (International publication number)：1999057707
Application date： Aug. 28, 1997
Publication date： Mar. 02, 1999
Summary：
【要約】【課題】 制御機構の不要な簡便かつコンパクトな超純水の比抵抗値を調整する装置及び方法を提供する。【解決手段】 中空糸膜外側とハウジングの間の空間部に超純水を流し、中空糸膜の内側に炭酸ガスを給気する外部潅流型モジュールであり、ハウジング内容積に占める中空糸膜の容積が1%以上、30%以下となるように中空糸膜が複数本収束された状態でハウジング内に配設された中空糸膜モジュールと、膜モジュールに供給される炭酸ガスの圧力を一定に保持するための調圧弁とからなる超純水の比抵抗調整装置、及び方法。
Claim (excerpt)：
超純水の比抵抗を調整するために、中空糸膜モジュールを用いて超純水に炭酸ガスを供給し、所望の比抵抗値の超純水を製造する装置において、中空糸膜外側とハウジングの間の空間部に超純水を流し、中空糸膜の内側に炭酸ガスを給気する外部潅流型であり、ハウジング内容積に占める中空糸膜の容積が1%以上、30%以下となるように中空糸膜が複数本収束された状態でハウジング内に配設された中空糸膜モジュールと、膜モジュールに供給される炭酸ガスの圧力を一定に保持するための調圧弁とからなる超純水の比抵抗調整装置。
IPC (2)：
FI (3)：
C02F 1/44 J
, C02F 1/44 B
, B01F 1/00 A
