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J-GLOBAL ID：200903032852013642

光偏向素子

Inventor： 遊亀 博 ,  山本 雅史
Applicant, Patent owner： ミノルタ株式会社
Agent (1)： 森下 武一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996040963
Publication number (International publication number)：1997230392
Application date： Feb. 28, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】 弾性表面波の伝搬速度が速く、高速走査が可能な光偏向素子を得る。【解決手段】 Si基板2上にSiO2からなる低屈折率薄膜3を介してZnOからなる圧電薄膜4が形成されている。圧電薄膜4表面の中央部手前寄りにインターデジタルトランスジューサ11が形成されている。圧電薄膜4上にはSiO2からなる低屈折率薄膜5が形成され、圧電薄膜4と低屈折率薄膜3,5とで光導波層8を構成している。さらに、この低屈折率薄膜5上にダイヤモンド薄膜6が形成されている。ダイヤモンド薄膜6上には、左右両側部に入射用グレーティング12及び出射用グレーティング13が形成されている。

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板上に設けられた少なくとも圧電薄膜からなる光導波層と、前記光導波層上に設けられたダイヤモンド薄膜と、を備えたことを特徴とする光偏向素子。

IPC (4)：

G02F 1/335 ,  B41J 2/44 ,  G09F 9/00 360 ,  H03H 9/25

FI (4)：

G02F 1/335 ,  G09F 9/00 360 Z ,  H03H 9/25 C ,  B41J 3/00 D