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J-GLOBAL ID：200903032946751086

表面検査装置

Inventor： 渡邊 孝宏
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 高野 明近 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991198503
Publication number (International publication number)：1993018727
Application date： Jul. 12, 1991
Publication date： Jan. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ドラム状の被検査体の変動を検出し、偏心由来の輝度変化を補正する。【構成】 円筒状被検査体1の表面は光源2で照明し、撮像レンズ3とラインセンサ4によって、被検査体の表面の撮像(読み取り)位置9を読み取る。被検査体1は駆動装置5および駆動軸8により回転駆動させ、回転駆動に伴う変位の測定点10,11において接触式のセンサ7a,7bにより被検査体1の表面の変位を検出する。読み取り信号と被検査体1の表面の変位は、信号処理装置6で回転駆動による被検査体1の表面の変位データから読み取り信号を補正し、補正後の信号は画像処理などの処理方法で欠陥検出を行なう。

Claim (excerpt)：

円筒状被検査体を回転させる回転手段と、該円筒状被検査体の表面を照明する照明手段と、該照明手段により照明された前記円筒状被検査体の表面を撮像する撮像手段と、該撮像手段により撮像した信号を処理して被検査体の表面の欠陥を検出する信号処理手段と、前記回転手段により回転される前記円筒状被検査体の表面の変動を計測する変位検出器とを備えることを特徴とする表面検査装置。

IPC (2)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-054438
  
• 特開昭63-238411
  
• 特開平1-113640