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J-GLOBAL ID：200903032962019883
β-ジケトネート錫溶液
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993023067
Publication number (International publication number)：1994234779
Application date： Feb. 10, 1993
Publication date： Aug. 23, 1994
Summary：
【要約】【目的】 有機錫化合物を原料としてCVD法によって透明電極薄膜などを成膜する際に、製造工程の安定化を図り、生産性の向上と製品品質の保証を得ることができるようにした有機錫化合物溶液を提供する。【構成】 β-ジケトネート錫(Sn(R1-CO-CH-CO-R2)2、(ただし、R1,R2は、CnH(2n+1)(n=1〜10)のアルキル基を示す)を、酸塩基両性を示す両性有機溶媒であって水酸基を有する有機溶媒、両性有機溶媒であって親プロトン性を示す有機溶媒、プロトンを放出する性質が殆どない非プロトン性有機溶媒であって親プロトン性を示す有機溶媒、非プロトン性有機溶媒であって疎プロトン性を示す有機溶媒、および非プロトン性有機溶媒であって不活性を示す有機溶媒からなる群からえらばれる少なくとも1種からなる溶媒に溶解する。
Claim (excerpt)：
下記一般式(I)で表されるβ-ジケトネート錫を、Sn(R1-CO-CH-CO-R2)2 ...... (I)(ただし、R1,R2は、CnH(2n+1)(n=1〜10)のアルキル基を示す)酸塩基両性を示す両性有機溶媒であって水酸基を有する有機溶媒、両性有機溶媒であって親プロトン性を示す有機溶媒、プロトンを放出する性質が殆どない非プロトン性有機溶媒であって親プロトン性を示す有機溶媒、非プロトン性有機溶媒であって疎プロトン性を示す有機溶媒、および非プロトン性有機溶媒であって不活性を示す有機溶媒からなる群からえらばれる少なくとも1種からなる溶媒に溶解してなることを特徴とするβ-ジケトネート錫溶液。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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