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J-GLOBAL ID:200903033002221676

複合硬質膜被覆部材

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000049530
Publication number (International publication number):2001234328
Application date: Feb. 25, 2000
Publication date: Aug. 31, 2001
Summary:
【要約】【課題】従来のTi-Alを含む化合物でなる複合硬質膜の被覆部材は、複合硬質膜自体に多くの欠陥や歪みを有していることから、複合硬質膜と隣接する物質との密着性に劣ること、剥離しやすいこと、複合硬質膜自体の諸特性が劣ること、例えば切削工具として用いる場合には、複合硬質膜自体の欠陥や歪みから剥離,微小チッピング,摩耗などが急速に発達しやすくなって、短寿命になるという課題がある。【解決手段】基材の表面にチタンとアルミニウムとを含む複合窒化物、複合炭化物、複合炭窒化物、複合窒酸化物、複合炭酸化物、複合炭窒酸化物の中の少なくとも1種の複合硬質膜を含む単層または積層の被覆層として被覆されており、該複合硬質膜の表面から銅ターゲットを用いてX線回折したときに、(200)結晶面のピーク高さをh(200)とし、(111)結晶面のピーク高さをh(111)としたときに、h(200)/h(111)≧4.0からなり、該(200)結晶面のピークの半価幅をd(200)とし、該(111)結晶面のピークの半価幅をd(111)としたときに、1.5≧d(200)/d(111)≧0.8からなる複合硬質膜被覆部材。
Claim (excerpt):
基材の表面にチタンとアルミニウムとを含む複合窒化物、複合炭化物、複合炭窒化物、複合窒酸化物、複合炭酸化物、複合炭窒酸化物の中の少なくとも1種の複合硬質膜を含む単層または積層の被覆層として被覆されており、該複合硬質膜の表面から銅ターゲットを用いてX線回折したときに、(200)結晶面のピーク高さをh(200)とし、(111)結晶面のピーク高さをh(111)としたときに、h(200)/h(111)≧4.0からなり、該(200)結晶面のピークの半価幅をd(200)とし、該(111)結晶面のピークの半価幅をd(111)としたときに、1.5≧d(200)/d(111)≧0.8からなる複合硬質膜被覆部材。
IPC (3):
C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  B32B 15/04
FI (6):
C23C 14/06 K ,  C23C 14/06 ,  C23C 14/06 H ,  C23C 14/06 N ,  B23B 27/14 A ,  B32B 15/04
F-Term (43):
3C046FF03 ,  3C046FF04 ,  3C046FF10 ,  3C046FF25 ,  3C046FF32 ,  3C046FF33 ,  3C046FF35 ,  3C046FF39 ,  3C046FF53 ,  4F100AA12B ,  4F100AA15B ,  4F100AB31A ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100EH66 ,  4F100EH662 ,  4F100EJ34 ,  4F100EJ342 ,  4F100GB51 ,  4F100JK01 ,  4F100JK06 ,  4F100JK14A ,  4K029AA02 ,  4K029AA04 ,  4K029BA01 ,  4K029BA03 ,  4K029BA06 ,  4K029BA11 ,  4K029BA12 ,  4K029BA17 ,  4K029BA21 ,  4K029BA41 ,  4K029BA54 ,  4K029BA55 ,  4K029BA58 ,  4K029BA64 ,  4K029BB02 ,  4K029BB07 ,  4K029BB08 ,  4K029BD05 ,  4K029CA04 ,  4K029DD06 ,  4K029EA01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (13)
  • 被覆硬質工具
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平9-312818   Applicant:日立ツール株式会社, バルツェルスアクチェンゲゼルシャフト
  • 被覆硬質工具
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平9-312816   Applicant:日立ツール株式会社, バルツェルスアクチェンゲゼルシャフト
  • 結晶配向性硬質被覆部材
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平9-143483   Applicant:東芝タンガロイ株式会社
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