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J-GLOBAL ID：200903033009911465
ハーフミラー用複合酸化物薄膜
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
横山 吉美 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992086157
Publication number (International publication number)：1993116988
Application date： Mar. 10, 1992
Publication date： May. 14, 1993
Summary：
【要約】【目的】耐久性(耐アルカリ性、耐酸性、耐磨耗性、耐汚れ性)の優れた、ハーフミラー用複合酸化物薄膜を提供する。【構成】Si: 5〜50原子%、Ti: 5〜80原子%、Nb: 5〜80原子%からなる複合酸化物薄膜であり、P2O5を含有していてもよい。【効果】Nbを、Si/Ti系にさらに複合させた複合酸化物薄膜は、耐久性が著しく改善される。
Claim (excerpt)：
下記(a), (b)および(c) からなる金属原子組成の複合酸化物薄膜からなることを特徴とするハーフミラー用複合酸化物薄膜(a) Si: 5〜50原子%(b) Ti: 5〜80原子%(c) Nb: 5〜80原子%
IPC (7)：
C03C 17/22
, C01B 33/12
, C03C 3/062
, C03C 3/097
, C03C 17/25
, G02B 1/10
, G02B 5/08
