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J-GLOBAL ID：200903033046696566

蒸着重合装置

Inventor： 多田 勲 ,  長嶋 直樹
Applicant, Patent owner： 日本真空技術株式会社
Agent (1)： 飯阪 泰雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991323810
Publication number (International publication number)：1993132765
Application date： Nov. 12, 1991
Publication date： May. 28, 1993
Summary：

【要約】[構成] 仕切板11は真空室1aの底壁部12に対して垂直に取り付けられ、蒸発源容器7a、7bを仕切っている。この仕切板11の上端部にはリフレクタ15が水平方向に取り付けられている。リフレクタ15はニクロム線ヒータ9a、9bの直上方に位置するように取り付けられ、ニクロム線ヒータ9a、9bからの熱が蒸発源容器7a、7b内に反射するようにしている。また、リフレクタ15には開口18a、18bが形成され、この開口18a、18bの形状は基板3の位置や形状で異なり、蒸発モノマに方向性を持たせている。これにより、効率よく蒸発源モノマを加熱することができ、各加熱ヒータの温度による周りへの影響を最小限にして温度制御が可能であるので、基板上に形成される高分子被膜の質を良好なものにすることができる。[効果] 加熱ヒータの熱が他の蒸発源に干渉することがなく、高分子被膜の質を良好なものにする。

Claim (excerpt)：

真空室における少なくとも2個の蒸発源容器に各々供給された原料モノマを加熱ヒータにより蒸発させる蒸着重合装置において、前記加熱ヒータは各々前記蒸発源容器の蒸発口とほぼ同径大で、これら蒸発口の直上方に配設し、かつ更にこれら加熱ヒータの直上方にリフレクタを配設し、該リフレクタに各前記蒸発源容器からの蒸発モノマを通過させる開口を形成させたことを特徴とする蒸着重合装置。

IPC (4)：

C23C 14/24 ,  C08F 2/34 MCF ,  C08F 2/34 MCT ,  C23C 14/12