走査型プローブ顕微鏡の調整機構

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994256767
Publication number (International publication number)：1996122342
Application date： Oct. 21, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】走査型プローブ顕微鏡の小型化と軽量化を実現する、探針と試料の相互間の調整機構を提供する。【構成】光学顕微鏡の対物レンズ104が試料102の上方に設置されている。対物レンズ104にはスキャナーユニット110が取り付けられている。スキャナーユニット110は磁性体材料で作られた弾性リング112を有している。弾性リング112は一箇所に切れ目を有し、その内側面には三つのボール114が等間隔で設けられている。切れ目の一方の端112aには、他方の端112bを引き付けるための電磁石116が取り付けられている。弾性リング112にはL字形のアーム118が取り付けられていて、その下端には円筒型圧電素子120が横向きに取り付けられている。円筒型圧電素子120の先端にはプローブ保持部材128を介してプローブ130が取り付けられている。

Claim (excerpt)：

走査型プローブ顕微鏡において対象物の位置や向きを変えるための調整機構であり、調整の際に不変の位置に保たれる固定部材と、固定部材に対して移動可能に保持された移動体と、移動体に一端が固定された円筒型圧電素子で、その自由端側に対象物が取り付けられる円筒型圧電素子と、円筒型圧電素子に急激な変形を生じさせる駆動手段とを備え、移動体は円筒型圧電素子の急激な変形により力を受け固定部材に対する位置や向きを変える、走査型プローブ顕微鏡の調整機構。

IPC (3)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , H01J 37/28

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

原子間力顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-114924 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
コークス炉上昇管掃除方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-066035 Applicant：住友金属工業株式会社, 日本鋼管株式会社, 川崎製鉄株式会社, 関西熱化学株式会社
鏡基移動装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-287766 Applicant：オリンパス光学工業株式会社

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Cited by examiner (2)

原子間力顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-114924 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
コークス炉上昇管掃除方法および装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-066035 Applicant：住友金属工業株式会社, 日本鋼管株式会社, 川崎製鉄株式会社, 関西熱化学株式会社

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