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J-GLOBAL ID：200903033051104375

光学的内部検査援助装置及びその方法

Inventor： ジヨン・サミユエル・バツトチエルダー ,  フイリツプ・チヤールーズ・ダンビイ・ホツブズ ,  マツク・アラン・タウベンブラツト
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 頓宮 孝一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992024852
Publication number (International publication number)：1993157701
Application date： Jan. 14, 1992
Publication date： Jun. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】本発明は比較的高い屈折率を有する対象物の内部の特性を判別するために顕微鏡を用いる装置及びその方法を提案する。【構成】半導体ウエハ110の内部特徴を赤外線に近いものにより高い解像度の光学的結像作用を実行する装置及び方法は高い屈折率を有する材料から構成される光学装置を用い、当該ウエハ110の極めて近くに保持される。当該光学装置はプリズム又は平凸レンズ130である。平凸レンズ130はウエハ110とコンタクトを維持するか又はサンプルが当該レンズの下方に操作できるように支持手段又は光学結合流体を介してウエハ110から分離される。当該レンズは、明視野顕微鏡、シユリーレン顕微鏡、暗視野顕微鏡、リンニツク干渉計、ラマン分光計及び吸収分光器のような多数の光学装置に用いられる。

Claim (excerpt)：

平滑な表面を有しかつ単位屈折率以上の屈折率を有する対象物の内部検査において、検査される対象物の屈折率とほぼ等しい屈折率を有しかつ対象物の平滑な表面に整合するように作られた面を有する材料から構成される光学装置と、平滑な表面に対して定義された臨界角以上の入射角度を有する対象物内部からの光線が上記光学装置内に伝播できるように上記光学装置を上記対象物の平滑な表面に結合する光学装置に結合した光学結合手段とを具えることを特徴とする光学的内部検査援助装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G02B 27/00 ,  H01L 21/66