接合方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小池晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993149748
Publication number (International publication number)：1994122566
Application date： May. 31, 1993
Publication date： May. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】接合部の空隙の発生を防止し、その接合強度を良好なものとする。【構成】少なくとも一方の被接合体の接合面に薄膜が形成されてなる一対の被接合体を、ガラスを介して接合する接合方法において、高温等方加圧雰囲気中で接合を行う。またこの時、上記薄膜がスパッタリング法により形成されていても良く、薄膜がガラスと接触する構成であっても良い。

Claim (excerpt)：

少なくとも一方の被接合体の接合面に薄膜が形成されてなる一対の被接合体を、ガラスを介して接合する接合方法において、高温等方加圧雰囲気中で接合を行うことを特徴とする接合方法。

IPC (4)：

C04B 37/00 , C04B 41/87 , G11B 5/127 , G11B 5/23

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (12)

特開昭58-074581
特開昭58-153222
特開昭61-053134

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