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J-GLOBAL ID：200903033064635051

圧電材料および圧電素子

Inventor：
▲濱▼田 泰彰

About ▲濱▼田 泰彰

, 
木島 健

About 木島 健


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (3)： 稲葉 良幸 ,  田中 克郎 ,  大賀 眞司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008095050
Publication number (International publication number)：2009252789
Application date： Apr. 01, 2008
Publication date： Oct. 29, 2009
Summary：
【課題】Bi(Fe,Mn)O3およびBa(Zr,Ti)O3等をベースにした圧電材料の特性を向上させる、特性の良好な非鉛系圧電材料を提供する。【解決手段】酸化シリコン膜2、窒化チタンアルミ膜3、イリジウム膜4、酸化イリジウム膜5、白金下部電極6上の圧電材料9は、Bi(Fe,Mn)O3とBa(Zr,Ti)O3の混晶からなる圧電材料であって、組成式(1-x)Bi(Fe1-yMny)O3-xBa(ZruTi1-u)O3で表され、0<x<0.40、0.01<y<0.10および0≦u<0.16である。かかる構成によれば、Bi(Fe1-yMny)O3の自発分極量や高いキュリー温度を維持しつつ、Ba(ZruTi1-u)O3により圧電特性の向上を図ることができる。このように、上記組成の範囲であれば、混合するそれぞれの材料の圧電材料として有用な性能が優先的となり、膜特性を向上させることができる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
25°Cにおける自発分極量が0.5C/m2以上である材料Aを100(1-x)%、圧電特性を有しかつ25°Cの比誘電率が1000以上である材料Bを100x%で混合した圧電材料であって、前記材料Aのキュリー温度をTc(A)、前記材料Bのキュリー温度をTc(B)とするとき、(1-x)Tc(A)+xTc(B)≧300°Cであり、非鉛系であることを特徴とする圧電材料。
IPC (6)：
H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/22 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055
FI (7)：
H01L41/08 C ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 L ,  H01L41/22 A ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/22 B ,  B41J3/04 103A
F-Term (10)：
2C057AF51 ,  2C057AG44 ,  2C057AG55 ,  2C057AP22 ,  2C057AP52 ,  2C057AP56 ,  2C057AP57 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3)

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