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J-GLOBAL ID：200903033077156314

輪帯照明装置

Inventor： 小椋 行夫
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 内原 晋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991253284
Publication number (International publication number)：1993094936
Application date： Oct. 01, 1991
Publication date： Apr. 16, 1993
Summary：

【要約】【目的】輪帯照明により結像レンズのコントラストを向上させる。【構成】光源部と光源部より発せられた光束のビーム径を変換するビームコンプレッサと輪帯状の二次光源を形成するホモジナイザーと輪帯状二次光源でマスクを照明する集光レンズより構成される照明装置。ホモジナイザーは、ファイバーなどで構成され、円形入力に対し輪帯状の出力になっており、出力端面が二次光源となっている。輪帯状の二次光源の像を結像レンズの入射瞳に作ることにより結像レンズのコントラストを向上させることができる。

Claim (excerpt)：

光束を供給する光源と、該光束の強度分布を均一にするための光学素子と、被照射物体を照明する光学素子とを有する照明光学装置において、前記光束の強度分布を均一にするための光学素子が光ファイバーで構成され、出力端面付近が輪帯状の2次光源となっていることを特徴とする輪帯照明装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 311 S ,  H01L 21/30 311 L

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭61-091662
  
• 特開昭62-002618