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J-GLOBAL ID：200903033093818467

ネガ型電着フォトレジスト組成物

Inventor： 竹田 ユカリ ,  竹添 浩司
Applicant, Patent owner： 関西ペイント株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993125502
Publication number (International publication number)：1994313133
Application date： Apr. 27, 1993
Publication date： Nov. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 活性エネルギー線退色性色素を含有し、未現像レジスト膜の露光部と未露光部の識別可能なネガ型電着フォトレジスト組成物を提供する。【構成】 (A)エチレン性不飽和基及びイオン性基を含有し、平均分子量300以上である水溶性又は水分散性の重合性不飽和樹脂、(B)光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール又は芳香族環を配位子とするチタン錯体化合物、及び、(C)モノアゾ系色素を必須成分とするネガ型電着フォトレジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(A)エチレン性不飽和基及びイオン性基を含有し、平均分子量300以上である水溶性又は水分散性の重合性不飽和樹脂、(B)光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール又は芳香族環を配位子とするチタン錯体化合物、及び、(C)モノアゾ系色素を必須成分とするネガ型電着フォトレジスト組成物。

IPC (6)：

C09D 5/44 PRG ,  C09D 5/44 PRN ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/038 ,  H05K 3/00