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J-GLOBAL ID：200903033098797913

圧電振動子

Inventor： 治田 暁 ,  石橋 宏治 ,  平尾 進
Applicant, Patent owner： 株式会社大真空
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998105578
Publication number (International publication number)：1999289238
Application date： Mar. 31, 1998
Publication date： Oct. 19, 1999
Summary：

【要約】【課題】 圧電振動子の各種特性に悪影響を与えず、また圧電振動板が絶縁基板と接触する事故を抑制するとともに、複雑な接合方法も必要としない圧電振動子を提供する。【解決手段】 圧電振動子は、絶縁基板1と、絶縁基板1上に形成された電極パッド14,14に搭載され、電気的接合される水晶振動板2と、絶縁基板1の電極パッド14,14と水晶振動板2間に介在する各金属バンプ31,32、33と、水晶振動板2を気密封止する蓋4とからなる。金属バンプは、圧電振動板の長手方向端部側に対応する金属バンプ33が一番低く、端部から離れ、中央部分側に対応する金属バンプ32,31はその高さが順次高く形成されている。

Claim (excerpt)：

絶縁基板と、絶縁基板の上面に形成された少なくとも2つの電極パッドと、当該各電極パッドと電気的に接続され外部と接続される少なくとも2つの導出電極と、前記各電極パッドの上面に形成された複数の金属バンプと、表裏面に一対の励振電極が形成されるとともに、当該各励振電極を少なくとも長手方向の一方の端縁に導く引出電極が形成された矩形圧電振動板とからなり、前記複数の金属バンプは前記1つの電極パッドに対して2以上形成され、当該金属バンプと前記長手方向一端の引出電極とが熱圧着あるいは超音波溶着され、片持ち支持されてなる圧電振動子であって、圧着後の複数の金属バンプは、前記圧電振動板の長手方向の端部側に形成された金属バンプの高さより、同中央部分側の位置に形成された金属バンプの高さが大きいことを特徴とする圧電振動子。

IPC (3)：

H03H 9/19 ,  H03H 9/02 ,  H03H 9/10

FI (4)：

H03H 9/19 A ,  H03H 9/02 L ,  H03H 9/02 F ,  H03H 9/10