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J-GLOBAL ID:200903033164166288
デブリ除去装置、光源及び露光装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002003939
Publication number (International publication number):2002313598
Application date: Jan. 10, 2002
Publication date: Oct. 25, 2002
Summary:
【要約】【課題】デブリの抑制が困難である。【解決手段】少なくとも一つの羽根と、デブリを含む空間を当該羽根を移動させることによって一掃させる移動機構とを有することを特徴とするデブリ除去装置。
Claim (excerpt):
少なくとも一つの羽根と、デブリを含む空間を当該羽根を移動させることによって一掃させる移動機構とを有することを特徴とするデブリ除去装置。
IPC (4):
H05G 2/00
, G03F 7/20 503
, G21K 5/02
, H01L 21/027
FI (4):
G03F 7/20 503
, G21K 5/02 X
, H05G 1/00 K
, H01L 21/30 531 S
F-Term (8):
2H097CA15
, 2H097GB00
, 2H097LA10
, 4C092AA06
, 4C092AB19
, 4C092AC09
, 4C092BD20
, 5F046GC03
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