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J-GLOBAL ID：200903033188894250

超音波洗浄装置用音圧センサ

Inventor： 松崎 伸樹 ,  栗山 昇
Applicant, Patent owner： 株式会社芝浦製作所
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996343698
Publication number (International publication number)：1998185675
Application date： Dec. 24, 1996
Publication date： Jul. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】 音圧センサに用いられるピックアップの感度にバラツキがある場合でも、感度補正を行うことができる超音波洗浄装置用音圧センサを提供することにある。【解決手段】 超音波を受信する受信部11と、この受信部で受信された超音波を電気信号に変換するピックアップ部22と、このピックアップ部から出力される超音波信号を検波する検波部32と、この検波部で検波された信号を可変増幅する可変増幅部35と、この可変増幅部で可変増幅された信号に応じて超音波の音圧を表示する表示部14とから構成される。

Claim (excerpt)：

超音波を受信する受信部と、この受信部で受信された超音波を電気信号に変換するピックアップ部と、このピックアップ部から出力される超音波信号を検波する検波部と、この検波部で検波された信号を可変増幅する可変増幅部と、この可変増幅部で可変増幅された信号に応じて超音波の音圧を表示する表示部とを具備したことを特徴とする超音波洗浄装置用音圧センサ。

IPC (3)：

G01H 3/12 ,  H01L 21/304 341 ,  B08B 3/12

FI (3)：

G01H 3/12 ,  H01L 21/304 341 S ,  B08B 3/12 A