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J-GLOBAL ID：200903033193166742
角速度センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
後藤 洋介 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996187844
Publication number (International publication number)：1998038578
Application date： Jul. 17, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：
【要約】【課題】 特性のばらつきを抑制して高精度化し得ると共に、安価に量産可能である上、小型で簡素な構造の角速度センサを提供すること。【解決手段】 この半導体振動型角速度センサでは、シリコン基板5及びガラス基板6を接合した基板接合体を要部構成とし、シリコン基板5は一面の中央部周囲の所定箇所に設けられた電極8aから延在して梁部12を介して錘部11a,11bが形成されて成る振動子9,10を有する。振動子9,10における振幅が最も大きい錘部11a,11bを励振用電極やコリオリ力による振動検出用電極として用いると共に、錘部11a,11b及び梁部12の間には切り込み部14が形成されているため、梁部12の長さを長くせずとも錘部11a,11bの表面積を大きく確保し、これによって小型で簡素な構成により増大された静電容量における差をばらつき無く高感度に検出し得る高精度な特性を得ている。
Claim (excerpt)：
一面の中央部周囲の所定箇所に設けられた電極から延在して梁部を介して錘部が形成されて成ると共に、該錘部及び該梁部の間に切り込み部が形成された振動子を有する半導体基板と、前記電極に前記振動子の共振周波数に略等しい周波数の交流電圧を印加させて該振動子を第1の軸方向に励振させるための励振手段と、前記振動子の回転運動に伴うコリオリ力によって前記第1の軸方向と直交する第2の軸方向に生じる振動を検出する振動検出手段とを備え、前記励振手段による励振出力及び前記振動検出手段による振動出力に基づいて角速度を算出することを特徴とする角速度センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
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