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J-GLOBAL ID：200903033223584757
IC試験装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996240272
Publication number (International publication number)：1998090353
Application date： Sep. 11, 1996
Publication date： Apr. 10, 1998
Summary：
【要約】【課題】 スキュー調整を頻繁に行なわなくて済むIC試験装置を提供する。【解決手段】 本来メインフレーム側に格納されていたタイミング信号に従って動作する回路ユニットを、テストヘッド側に移設すると共に、テストヘッドの内部に冷却手段と送風手段を設け、冷却手段を通じて送風することによりテストヘッド内の温度を一定値に維持させ、更にテストヘッド内の温度分布を均一化し、ピン系列毎の各伝搬遅延時間のずれを小さくした。
Claim (excerpt)：
A.タイミング信号に従って動作し、温度変化により、自己の伝搬遅延時間が変化し、この伝搬遅延時間の変化がICの試験に影響を与える第1回路ユニット群と、B.自己の伝搬遅延時間の変化がICの試験に影響を与えない第2回路ユニット群と、C.これら第1回路ユニット群と第2回路ユニット群を別々に格納する2つの匡体と、によって構成したことを特徴とするIC試験装置。
FI (2)：
G01R 31/28 H
, G01R 31/28 P
