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J-GLOBAL ID：200903033255828038

研磨方法

Inventor： 両毛 克己 ,  藤山 正昭 ,  山田 圭介
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994089801
Publication number (International publication number)：1995068460
Application date： Apr. 27, 1994
Publication date： Mar. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】 内因性突起を有する被研磨体から被研磨面を傷つけずに突起のみを被研磨面から除去する研磨方法の提供。【構成】 表面に内因性突起を有する被研磨体と支持体上に研磨剤粒子と結合剤を主体とする研磨層を有する研磨テープとを該被研磨体の被研磨面と該研磨テープの該研磨層とが摺接するように互いに対向する方向に接動させて前記内因性突起を研削する研磨方法。

Claim (excerpt)：

表面に内因性突起を有する被研磨体と支持体上に研磨剤粒子と結合剤を主体とする研磨層を有する研磨テープとを該被研磨体の被研磨面と該研磨テープの該研磨層とが摺接するように互いに対向する方向に接動させて前記内因性突起を研削する研磨方法。