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J-GLOBAL ID：200903033259343918

固体撮像素子

Inventor： 仲井 淳一 ,  仲 俊一
Applicant, Patent owner： シヤープ株式会社
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991174168
Publication number (International publication number)：1993021768
Application date： Jul. 15, 1991
Publication date： Jan. 29, 1993
Summary：

【要約】【目的】 高価な装置を使用することなく、遮光メタルから受光部への乱反射光の入射を防いで輝度ムラや画像ムラの発生を防止する。【構成】 遮光メタル8へ光が入射する光路上に配置して、又は遮光メタル8を覆って光吸収膜9が形成され、該光吸収膜9にて遮光メタル8へ入射する光を吸収する構成としてあるので、遮光メタル8への光入射光路の途中に光吸収膜9が存在し、この膜9により遮光メタル8へ入射して乱反射する光を吸収できる。このため、受光部2へ遮光メタル8からの余分な反射光が入射するのを防止することが可能となる。また、光吸収膜9がフォトエッチングにより形成されるので、高価なスパッター装置や蒸着装置を必要とせず、低コストで製造することができる。

Claim (excerpt)：

基板上に光電変換機能を有する受光部、該受光部からの電気信号を転送する転送部及び該転送部に光が入射することを防ぐ遮光メタルが形成された固体撮像素子において、該遮光メタルへ光が入射する光路上に配置して、又は遮光メタルを覆って光吸収膜がフォトエッチングにより形成された固体撮像素子。