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J-GLOBAL ID：200903033293580317

ガラス割断用レーザ装置

Inventor：
軽部 規夫

About 軽部 規夫


Applicant, Patent owner：
株式会社レミ

About 株式会社レミ


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004156891
Publication number (International publication number)：2005314198
Application date： Apr. 26, 2004
Publication date： Nov. 10, 2005
Summary：
【課題】 レーザビーム照射による加熱と冷却液噴霧による冷却によってガラス板割断を行うガラス割断用レーザ装置において、レーザビーム断面形状ならびにエネルギー強度分布を可変制御し、種々の条件下におけるガラス板のレーザ割断プロセスを最適化すること。【解決手段】 レーザ発振器ならびに適応制御型光学系からなるガラス割断用レーザ装置において、同装置から射出されるレーザビームの断面形状ならびにエネルギー強度分布を、各種条件下でガラス割断を行うのに最適であるように可変制御を行う。適応制御型光学系としては、それぞれの傾きが制御可能なセグメントからなるセグメント鏡を用い、それらセグメントの傾き調整によってレーザビームの断面形状とエネルギー強度分布の制御を行う。または、鏡面が変形可能な鏡面可変鏡を用い、同鏡裏面に設けた分割電極による静電引力に基づく鏡面形状制御によって同様の制御を行う。割断線が曲線の場合には、レーザビーム断面形状を同ビームの走査方向にあわせて同期回転させる。また、レーザビームの走査位置後方に、冷却液の噴射ノズルを設け冷却する。【選択図】 図6
Claim (excerpt)：
レーザ発振器ならびに適応制御型光学系からなるガラス割断用レーザ装置において、同装置から射出されるレーザビームの断面形状ならびに同形状内におけるエネルギー強度分布が、各種条件下でガラス割断を行うのに最適であるように、可変制御を行うもの。
IPC (4)：
C03B33/09 ,  B23K26/00 ,  B23K26/06 ,  B28D5/00
FI (4)：
C03B33/09 ,  B23K26/00 320E ,  B23K26/06 E ,  B28D5/00 Z
F-Term (13)：
3C069AA03 ,  3C069BA08 ,  3C069BB03 ,  3C069BC03 ,  3C069CA11 ,  3C069EA02 ,  4E068AE00 ,  4E068CD05 ,  4E068DB13 ,  4G015FA06 ,  4G015FB02 ,  4G015FC02 ,  4G015FC05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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