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J-GLOBAL ID：200903033307753732
電気特性評価装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999056832
Publication number (International publication number)：2000252331
Application date： Mar. 04, 1999
Publication date： Sep. 14, 2000
Summary：
【要約】【課題】一台の装置で電流-電圧特性、容量-電圧特性、ホール効果特性さらにこれらの温度依存特性の測定・評価を精度良く行う。【解決手段】半導体回路を有する素子からなる試料4の加熱冷却機構2、試料4のいかなる位置にも電圧・電流の供給・測定を行うことを可能にするためのプローブ5,プローブ移動機構6や、真空排気機構、磁石21を持ち合わせることで、電圧-電流特性、電圧-容量特性、ホール効果特性、試料の温度を変化させた時の温度依存特性等を総合的に測定できる構造を有する。
Claim (excerpt)：
試料を載置して加熱及び冷却する加熱冷却機構と、前記試料に接触させて該試料に電圧又は電流を供給し、該試料の電気特性の測定を行うプローブと、前記試料、前記加熱冷却機構及び前記プローブを収容する真空容器と、前記真空容器内を真空に保持する真空排気機構とを具備してなることを特徴とする電気特性評価装置。
F-Term (14)：
4M106AA02
, 4M106BA14
, 4M106CA04
, 4M106CA12
, 4M106CA59
, 4M106DD04
, 4M106DD30
, 4M106DH02
, 4M106DH16
, 4M106DH19
, 4M106DH44
, 4M106DH45
, 4M106DH50
, 4M106DH51
Cited by examiner (2)
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特開昭63-066946
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半導体装置の電気的特性測定法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-339847
Applicant：日本電信電話株式会社
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