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J-GLOBAL ID：200903033350766210

感光性組成物

Inventor： 木原 尚子 ,  斎藤 聡 ,  後河内 透 ,  本宮 明典 ,  城内 貴士 ,  若林 弘光 ,  中瀬 真
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994203763
Publication number (International publication number)：1995120929
Application date： Aug. 29, 1994
Publication date： May. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 裾引きを低減し、良好な断面形状を有するパターンを形成可能であり、かつ環境に対する安定性を増加させることによって、その解像性、及びプロセス間の引き置きマージン、基板面内における寸法均一性を向上させた感光性組成物を提供する。【構成】 酸により分解する置換基(溶解抑止基)を有する化合物と、化学放射線に照射により酸を発生する化合物とを含有し、前記酸を発生する化合物が、前記溶解抑止基の5モル%以上であることを特徴とする感光性組成物である。さらに、pKaが6以下の塩基性化合物を含有することが好ましい。

Claim (excerpt)：

酸により分解する置換基を有する化合物と、化学放射線の照射により酸を発生する化合物とを含有し、前記酸を発生する化合物が、前記酸により分解する置換基の5モル%以上であることを特徴とする感光性組成物。

IPC (4)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027