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J-GLOBAL ID：200903033369193733

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 瀧本 清 ,  河出 一佐哲 ,  貴志 悦朗 ,  河岸 秀行 ,  佐藤 泰文 ,  宮本 雅彦 ,  酒井 邦裕 ,  畑中 勝則
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992112825
Publication number (International publication number)：1993306926
Application date： May. 01, 1992
Publication date： Nov. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 走査型プローブ顕微鏡を、高速かつ正確に、試料の表面構造または表面状態の実空間像を得ることができるようにするとともに、測定時間の短縮が図れるようにする。【構成】 走査型トンネル顕微鏡20では、探針21は、XY走査機構駆動回路26とXY走査機構27とにより図示X軸方向に往復走査される。また、画像形成回路28は、探針21の往路走査で第1の画像データを作成するとともに、探針21の復路走査で第2の画像データを作成したのち、第1の画像データと第2の画像データとが異なる領域を検出し、検出した異なる領域における第1の画像データまたは第2の画像データを、検出した異なる領域における第2の画像データまたは第1の画像データと置き換えて、第3の画像データを作成し、作成した第3の画像データにより試料10の表面構造を画像化する。

Claim (excerpt)：

探針と、該探針と試料の表面との間の相互作用により生じる物理量を検出する検出手段と、該検出された物理量に応じて前記試料の表面と垂直方向に前記探針を移動させて、該探針と前記試料の表面との間の距離を変化させる探針移動制御手段と、前記探針を前記試料の表面上で相対的に二次元走査させる走査手段と、前記探針が二次元走査されている間に前記探針移動制御手段による前記探針の移動量を前記探針移動制御手段から取得し、該取得した移動量より前記探針の走査領域内の二次元座標に対応した画像データを作成して、前記試料の表面の状態を画像化する画像形成手段とを含む走査型プローブ顕微鏡において、前記走査手段が、前記探針の二次元走査のうち走査速度の大きな走査方向に対して、前記探針を往復走査させ、前記画像形成手段が、前記走査手段による前記探針の往復走査の往路走査で第1の画像データを作成するとともに、前記走査手段による前記探針の往復走査の復路走査で第2の画像データを作成し、前記第1の画像データと前記第2の画像データとが異なる領域を検出し、該検出した異なる領域における前記第1の画像データまたは前記第2の画像データを、該検出した異なる領域における該第2の画像データまたは該第1の画像データと置き換えて、第3の画像データを作成し、該作成した第3の画像データにより前記試料の表面の状態を画像化することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  G01B 7/34 ,  H01J 37/28