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J-GLOBAL ID：200903033382199937

形状測定装置

Inventor： 岡林 光正 ,  後藤 純夫 ,  永井 利明 ,  斉藤 勝
Applicant, Patent owner： ジューキ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997295254
Publication number (International publication number)：1999132734
Application date： Oct. 28, 1997
Publication date： May. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】検出精度の向上と装置の小型化を目的とする。【解決手段】レーザ光を発生するレーザダイオードと、前記レーザダイオードの光軸と交わる回転軸心を配置し、該回転軸心上に反射面を有する走査ミラーと、前記走査ミラーにより反射されたレーザ光が走査される被測定面と、前記被測定面からの反射光を前記走査ミラーの反射面に導く反射ミラーと、前記被測定面から走査ミラーまでの反射ミラーを含む光路上に配置された受光レンズを、該受光レンズの後側焦点距離と走査ミラーから被測定面までの距離とが一致するように配置し、前記レーザダイオードの光軸と同一平面上に受光光軸を有する一次元受光素子とを備えることにより、小型化を実現し、更に、パルス発光手段、ビームスプリッタ、位置検出手段を備えることにより、検出精度の向上を実現した。

Claim (excerpt)：

レーザ光を発生するレーザダイオードと、前記レーザダイオードの光軸と交わる回転軸心を配置し、該回転軸心上に反射面を有する走査ミラーと、前記走査ミラーにより反射されたレーザ光が走査される被測定面と、前記被測定面からの反射光を前記走査ミラーの反射面に導く反射ミラーと、前記被測定面から走査ミラーまでの反射ミラーを含む光路上に配置された受光レンズを、該受光レンズの後側焦点距離と走査ミラーから被測定面までの距離とが一致するように配置し、前記レーザダイオードの光軸と同一平面上に受光光軸を有する一次元受光素子とを備えることを特徴とする形状測定装置。