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J-GLOBAL ID：200903033382853726

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 合▲崎▼ 紳一郎 ,  八木 明
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996008376
Publication number (International publication number)：1997196939
Application date： Jan. 22, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】プローブを励振させるための最適な周波数を簡単且つ短時間に判別して、高感度に試料の表面情報を測定することが可能な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】試料に接触させない状態で励振させたプローブの初期周波数特性と、試料に接触させた状態で励振させたプローブの基準周波数特性を検出した後、初期周波数特性と基準周波数特性との差を演算して、プローブを励振させるための励振周波数を算出する。この結果、プローブと試料との間の距離に依存して振幅が減少する共振ピークAが残留し、プローブが試料に接触しても振幅が変化しない共振ピークBは消滅する。そして、残留している共振ピークAを選択し、かかる共振ピークAの周波数によってプローブを励振させて、試料に対するACモード測定を行なう。

Claim (excerpt)：

試料に接触させない状態で励振させたプローブの初期周波数特性を検出する手段と、前記試料に接触させた状態で励振させた前記プローブの基準周波数特性を検出する手段と、前記初期周波数特性及び前記基準周波数特性に対して所定の演算を施して、所望の励振周波数データを算出する算出手段と、前記励振周波数データに基づいて、前記プローブを励振させることによって、前記試料の表面情報を測定する測定手段とを備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z