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J-GLOBAL ID：200903033411824617

斜め照明付き反射型光学顕微鏡

Inventor： 菅野 幸保
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 船橋 国則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991304127
Publication number (International publication number)：1993113408
Application date： Oct. 22, 1991
Publication date： May. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、試料を斜め方向より照らすことにより、半導体装置の製造プロセスにおける外観検査で、アルミニウムボイドを他の欠陥と判別することを可能にする。【構成】 試料51の上方より照明を当てて外観検査を行う反射型光学顕微鏡10であって、試料51を斜め上方向より照らす斜め照明21を設けたものである。あるいは、斜め照明(図示せず)の光軸が試料の一定位置に向く状態に当該斜め照明を設けるとともに、当該斜め照明を移動自在にする移動機構(図示せず)を設けたものである。

Claim (excerpt)：

試料の上方より照明を当てて外観検査を行う反射型光学顕微鏡であって、前記試料を斜め上方より照らす斜め照明を前記反射型光学顕微鏡に設けたことを特徴とする斜め照明付き反射型光学顕微鏡。

IPC (5)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/84 ,  G02B 21/06 ,  H01L 21/66