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J-GLOBAL ID：200903033435805516

静電可動機構、共振型装置および角速度センサ

Inventor： 持田 洋一 ,  加藤 良隆
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Agent (1)： 広瀬 和彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003018952
Publication number (International publication number)：2004233088
Application date： Jan. 28, 2003
Publication date： Aug. 19, 2004
Summary：

【課題】可動電極が初期位置にあるときの静電力を高め、共振時の振幅を大きくする。【解決手段】外側質量部10,11には駆動電極25,28からなる振動発生部31を取付ける。また、駆動電極25,28の電極板27,30には段差部傾斜面27D,30Dをもったテーパ状の段差部27C,30Cを形成すると共に、先端部27E,30Eには先端部傾斜面27F,30Fを形成する。そして、初期状態で先端部傾斜面27F,30Fと相手方の段差部傾斜面30D,27Dとが対向するように配置する。これにより、先端部傾斜面27F,30Fと段差部傾斜面30D,27Dとの間の電気力線を増やして静電力を大きくでき、外側質量部10,11等の振幅を大きくすることができる。【選択図】 図3

Claim (excerpt)：

先端部が自由端となった複数の電極板によって櫛歯形状をなす固定電極と、先端部が自由端となった複数の電極板によって櫛歯形状をなし該固定電極と噛合して静電力によって変位する可動電極とからなる静電可動機構において、 前記固定電極と可動電極との電極板には当該電極板の長さ方向途中部位に位置して幅寸法が異なる段差部を設け、これら各段差部には前記可動電極の変位方向に対して傾斜した段差部傾斜面を設け、前記固定電極と可動電極との電極板の先端部には相手方の段差部傾斜面と対向する先端部傾斜面を設ける構成としたことを特徴とする静電可動機構。

IPC (3)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H02N1/00

FI (3)：

G01C19/56 ,  G01P9/04 ,  H02N1/00

F-Term (4)：

2F105BB02 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05