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J-GLOBAL ID:200903033438521438

基板保持用ケース

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小西 淳美
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992229382
Publication number (International publication number):1994064678
Application date: Aug. 06, 1992
Publication date: Mar. 08, 1994
Summary:
【要約】【目的】 振動等による発塵性が低く、各種基板サイズ、板厚サイズに対応できるフオトマスク等の基板の保管、運搬用のケースの提供【構成】 上蓋部、下蓋部からなるケース本体と一体となった突起部に、シリコンキヤップを覆った構造の複数の固定部で、基板の隅部を両面から保持固定し、且つ、基板の外周部を複数からなる外周固定部で固定し、上蓋部と下蓋部を嵌合させ、止め抑えるケース
Claim (excerpt):
上蓋部、下蓋部からなるケース本体に、基板の両側から基板の隅部を挟み保持する保持機構部と、基板の外周を固定する外周固定部とを有し、前記上蓋部、下蓋部を嵌合させ、止め抑える方式の基板保持用ケースにおいて、保持機構部は、上蓋部、下蓋部と一体で、基板の両面に向かい突出した、相対する複数個の突起部が着脱可能なキヤップで覆われていることを特徴とする基板保持用ケース
IPC (3):
B65D 85/38 ,  B65D 85/00 ,  H05K 7/14

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