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J-GLOBAL ID:200903033459540920

不純物捕集用装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 田中 正治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993115416
Publication number (International publication number):1994300671
Application date: Apr. 19, 1993
Publication date: Oct. 28, 1994
Summary:
【要約】【目的】 被測定気体中に含まれている不純物を、簡単な構成で、溶液の形で捕集できるようにする。また、被測定気体中に含まれている不純物の濃度を、溶液の形で捕集された不純物の濃度から正確に推定できるようにする。【構成】 被測定気体と混合されるべき清浄な混合用ガスを発生させる混合ガス発生手段と、上記被測定気体と、上記混合ガス発生手段からの混合用ガスとを混合させ、それらの混合ガスを得る混合手段と、上記混合手段からの混合ガスを液化させる液化手段とを有する。
Claim (excerpt):
被測定気体と混合されるべき清浄な混合用ガスを発生させる混合ガス発生手段と、上記被測定気体と、上記混合ガス発生手段からの混合用ガスとを混合させ、それらの混合ガスを得る混合手段と、上記混合手段からの混合ガスを液化させる液化手段とを有することを特徴とする不純物捕集用装置。
IPC (2):
G01N 1/02 ,  G01N 1/28

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