波数ドメイン反射率計を使用した多重層の共焦干渉顕微鏡、並びに、背景振幅減少及び補償方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：社本一夫 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000605157
Publication number (International publication number)：2002539494
Application date： Mar. 16, 2000
Publication date： Nov. 19, 2002
Summary：

【要約】【解決手段】対象の内部及び/又は対象上にある情報担持領域の焦合画像は、広帯域点光源からプローブビーム及び参照ビームを発生し、参照ビーム(83)に反対称特性を生成し、プローブビーム(81b)を領域内のラインに合焦されたビームに転換し、及び、焦合戻りプローブビームに反対称特性を発生させることによって、対象の情報領域における誤差を減少させるように焦点外画像から識別される。

Claim (excerpt)：

対象内及び/又は該対象上にある情報担持領域により表される情報を決定する際の誤差を減少するように、該対象内及び/又は該対象上にある該情報担持領域の焦合画像を焦点外画像から識別するための方法において、(a) 単色点放射源のアレイからプローブビーム及び参照ビームを発生する工程と、(b) 前記プローブビームを前記情報担持領域内及び/又は該情報担持領域上の焦合画像点のアレイに差し向けることによって焦合戻りプローブビームを発生する工程と、(c) 前記焦合戻りプローブビームに反対称空間特性を発生する工程と、(d) 焦合参照ビームを発生する工程と、(e) 前記焦合参照ビームに反対称空間特性を発生する工程と、(f) 前記焦合参照ビームを複数の焦点外画像点からのビームと干渉させる工程と、(g) 前記焦合参照ビームを前記焦合戻りビームと干渉させる工程と、(h) 焦合参照ビーム及び焦合戻りプローブビームの間の干渉項と、焦点外画像点と連係された焦点外画像ビーム及び焦合参照ビームの対応する部分の間の実質的に減少された振幅の別の干渉項とを有する、干渉データとして、検出器の検出器エレメントの手段により前記焦合戻りプローブビームの複素振幅を検出することによって決定される情報を表すため該検出器により生成されたデータ内の系統的誤差及び統計的誤差を減少させる、各工程を含む、方法。

IPC (7)：

G02B 21/00 , G01B 9/02 , G01M 11/00 , G01N 21/956 , G02B 21/14 , G11B 7/0065 , G11B 7/135

FI (7)：

G02B 21/00 , G01B 9/02 , G01M 11/00 T , G01N 21/956 A , G02B 21/14 , G11B 7/0065 , G11B 7/135 Z

F-Term (42)：

2F064AA01 , 2F064BB01 , 2F064GG00 , 2F064GG22 , 2F064GG41 , 2F064GG53 , 2F064HH08 , 2F064JJ02 , 2F064KK00 , 2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AB02 , 2G051BA10 , 2G051CB01 , 2G051CC07 , 2G051CC20 , 2G051EB01 , 2G086EE02 , 2H052AA08 , 2H052AB06 , 2H052AB26 , 2H052AC10 , 2H052AC15 , 2H052AC34 , 2H052AD19 , 2H052AF04 , 2H052AF14 , 2H052AF25 , 5D090AA01 , 5D090BB12 , 5D090BB16 , 5D090CC04 , 5D090DD05 , 5D090EE12 , 5D090KK12 , 5D090KK15 , 5D119BA01 , 5D119BB13 , 5D119CA15 , 5D119EB12 , 5D119EC43 , 5D119JA21

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