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J-GLOBAL ID：200903033492463923

電子顕微鏡試料加熱装置

Inventor： 浮穴 基英 ,  根本 昌弘 ,  小野瀬 正美
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992233324
Publication number (International publication number)：1994089685
Application date： Sep. 01, 1992
Publication date： Mar. 29, 1994
Summary：

【要約】【目的】電子顕微鏡用の試料加熱装置において、加熱炉周辺の温度上昇を抑え、高精度の観察を短時間で安定的に行なうことを目的とする。【構成】試料台6の中に断熱するようにヒーター7を保持し、試料9はヒーター7に直接載置してリング状の試料押え10で押えるように構成した。【効果】試料9の温度分布が均一になり、支持部材3の温度が試料9よりはるかに低くなり、かつ支持部材3の温度ドリフトが小さくなる。また、試料9は短時間で高温加熱され、短時間で安定し、高精度の観察を短時間に行なうことができる。

Claim (excerpt)：

試料台に加熱炉を内蔵して、試料を加熱する電子顕微鏡における試料加熱装置において、加熱炉は試料台と断熱するように構成して試料を加熱炉に直接載置するようにしたことを特徴とする電子顕微鏡試料加熱装置。