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J-GLOBAL ID：200903033497682216
光導波路装置及びその製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992083754
Publication number (International publication number)：1993281427
Application date： Apr. 06, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：
【要約】【目的】 導波路を形成したガラス層の疲労を防止すること。【構成】 石英ウェハーからなる基板2上には、火炎堆積法によって形成した石英系ガラスからなる光導波路層4が設けられている。この光導波路層4は、コア部4a及びクラッド部4bからなる。光導波路層4の表面と基板2の側面とは、熱CVDによって形成した熱分解カーボンからなるカーボン膜6によって被覆されている。この光導波路装置は、金属製パッケージ内に接着剤で固定され、屋外その他の各種環境のもとで使用されることとなる。この場合、カーボン膜6として非常に緻密でガスを透過しにくい熱分解カーボンを用いているので、光導波路層4の表面に水蒸気が付着することを有効に防止することができ、さらにはクラックの進行を抑制することができる。
Claim (excerpt)：
基板上に形成した光導波路層と、当該光導波路層の表面を被覆するカーボンの薄膜層と、を備える平板型の光導波路装置。
IPC (2)：
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