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J-GLOBAL ID：200903033505360789
インクジエツト記録ヘツドの製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山口 巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991182734
Publication number (International publication number)：1993024206
Application date： Jul. 24, 1991
Publication date： Feb. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】キャビティ板としてのシリコン基板と、振動板としてのガラス板との静電接合に係る工数短縮と歩留まり率向上とを図る。【構成】振動板としてのガラス板の、圧電素子が固着される側の表面全体に導電性膜を形成すること;この成膜されたガラス板と、キャビティ板としてのシリコン基板とを静電接合すること;この静電接合されたガラス板の導電性膜上の位置に圧電素子を固着すること;の各工程をとる。
Claim (excerpt)：
インク溜めと、インク加圧室と、インク噴射用ノズルとが連通する溝として形成されるキャビティ板としてのシリコン基板と;このシリコン基板の溝側表面と一方の面で接合され、他方の面において前記インク加圧室に対向する位置に圧電素子が固着される振動板としてのガラス板と;を備えるインクジェット記録ヘッドを製造する方法において、前記ガラス板の、前記圧電素子が固着される側の表面全体に導電性膜を形成し;この成膜されたガラス板と、前記シリコン基板とを静電接合し;この静電接合された前記ガラス板の導電性膜上の前記位置に前記圧電素子を固着する;ことを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
B41J 3/04 103 H
, H01L 41/08 C
